RF-LAMBDA氮化镓晶圆

发布时间：2023-03-16 16:42:49     浏览：1648

RF-LAMBDA氮化镓晶圆通常是在外界基板（例如蓝宝石）上外延生长的单晶GaN薄层层析，一般板厚小于100μm。与独立式GaN基板相比较，RF-LAMBDA氮化镓晶圆仅是元器件生产商中的一种替代解决方案，其技术优势受限。然而，在高容量和低成本生产制造的前提下，RF-LAMBDA氮化镓晶圆能够在LED生产中替代蓝宝石，从而提升下游MOCVD反应装置高至50%的产能。此外，RF-LAMBDA氮化镓晶圆一般比在蓝宝石上生长的MOCVD GaN具备较低的位错密度。这对于UV元器件来说是个有利因素，因为它比蓝色LED对位错密度更加敏感。

深圳市立维创展科技是RF-LAMBDA的经销商， RF-LAMBDA的产品包括：无源控制模块，有源控制模块，宽带功率放大器，窄带PA和驱动放大器，产品生产线均根据美国军用设计标准与生产制造，逐步广泛运用于航天，航空，军用设备，卫星通讯，雷达等高端工程项目。

RF-LAMBDA氮化镓晶圆

零件号

氮化镓类型

模板行

基材直径

厚度

（μm）

Marcodefect

密度

电阻率

（Ω·cm）

厚度偏差

（±μm）

GT.005.02.NB2

氮化镓模板

掺杂 (N+)

2"

5

<10/cm2

10 -3 -10 -2

0.25

GT.005.02.NB3

氮化镓模板

掺杂 (N+)

3"

5

<10/cm2

10 -3 -10 -2

0.25

GT.005.02.NB4

氮化镓模板

掺杂 (N+)

4"

5

<10/cm2

10 -3 -10 -2

0.25

GT.005.02.SEMI.B.2

氮化镓模板

半绝缘

2"

5

<10/cm2

10 9 -10 12

0.25

GT.005.02.SEMI.B.3

氮化镓模板

半绝缘

3"

5

<10/cm2

10 9 -10 12

0.25

GT.005.02.SEMI.B.4

氮化镓模板

半绝缘

4"

5

<10/cm2

10 9 -10 12

0.25

GT.005.02.UD.B.2

氮化镓模板

未掺杂 (N-)

2"

5

<10/cm2

0.5

0.25

GT.005.02.UD.B.3

氮化镓模板

未掺杂 (N-)

3"

5

<10/cm2

0.5

0.25

GT.005.02.UD.B.4

氮化镓模板

未掺杂 (N-)

4"

5

<10/cm2

0.5

0.25

GT.005.10.NB2

氮化镓模板

掺杂 (N+)

2"

5

<10/cm2

10 -3 -10 -2

0.25

GT.005.10.NB3

氮化镓模板

掺杂 (N+)

3"

5

<10/cm2

10 -3 -10 -2

0.25

GT.005.10.NB4

氮化镓模板

掺杂 (N+)

4"

5

<10/cm2

10 -3 -10 -2

0.25

GT.005.10.SEMI.B.2

氮化镓模板

半绝缘

2"

5

<10/cm2

10 9 -10 12

0.25

GT.005.10.SEMI.B.3

氮化镓模板

半绝缘

3"

5

<10/cm2

10 9 -10 12

0.25

GT.005.10.SEMI.B.4

氮化镓模板

半绝缘

4"

5

<10/cm2

10 9 -10 12

0.25

GT.005.10.UD.B.2

氮化镓模板

未掺杂 (N-)

2"

5

<10/cm2

0.5

0.25

GT.005.10.UD.B.3

氮化镓模板

未掺杂 (N-)

3"

5

<10/cm2

0.5

0.25

GT.005.10.UD.B.4

氮化镓模板

未掺杂 (N-)

4"

5

<10/cm2

0.5

0.25

GT.010.02.NB2

氮化镓模板

掺杂 (N+)

2"

10

<10/cm2

10 -3 -10 -2

0.50

GT.010.02.NB3

氮化镓模板

掺杂 (N+)

3"

10

<10/cm2

10 -3 -10 -2

0.50

GT.010.02.NB4

氮化镓模板

掺杂 (N+)

4"

10

<10/cm2

10 -3 -10 -2

0.50

GT.010.02.SEMI.B.2

氮化镓模板

半绝缘

2"

10

<10/cm2

10 9 -10 12

0.50

GT.010.02.SEMI.B.3

氮化镓模板

半绝缘

3"

10

<10/cm2

10 9 -10 12

0.50

GT.010.02.SEMI.B.4

氮化镓模板

半绝缘

4"

10

<10/cm2

10 9 -10 12

0.50

GT.010.02.UD.B.2

氮化镓模板

未掺杂 (N-)

2"

10

<10/cm2

0.5

0.50

GT.010.02.UD.B.3

氮化镓模板

未掺杂 (N-)

3"

10

<10/cm2

0.5

0.50

GT.010.02.UD.B.4

氮化镓模板

未掺杂 (N-)

4"

10

<10/cm2

0.5

0.50

GT.010.10.NB2

氮化镓模板

掺杂 (N+)

2"

10

<10/cm2

10 -3 -10 -2

0.50

GT.010.10.NB3

氮化镓模板

掺杂 (N+)

3"

10

<10/cm2

10 -3 -10 -2

0.50

GT.010.10.NB4

氮化镓模板

掺杂 (N+)

4"

10

<10/cm2

10 -3 -10 -2

0.50

GT.010.10.SEMI.B.2

氮化镓模板

半绝缘

2"

10

<10/cm2

10 9 -10 12

0.50

GT.010.10.SEMI.B.3

氮化镓模板

半绝缘

3"

10

<10/cm2

10 9 -10 12

0.50

GT.010.10.SEMI.B.4

氮化镓模板

半绝缘

4"

10

<10/cm2

10 9 -10 12

0.50

GT.010.10.UD.B.2

氮化镓模板

未掺杂 (N-)

2"

10

<10/cm2

0.5

0.50

GT.010.10.UD.B.3

氮化镓模板

未掺杂 (N-)

3"

10

<10/cm2

0.5

0.50

GT.010.10.UD.B.4

氮化镓模板

未掺杂 (N-)

4"

10

<10/cm2

0.5

0.50

GT.020.02.NB2

氮化镓模板

掺杂 (N+)

2"

20

<10/cm2

10 -3 -10 -2

1.00

GT.020.02.NB3

氮化镓模板

掺杂 (N+)

3"

20

<10/cm2

10 -3 -10 -2

1.00

GT.020.02.NB4

氮化镓模板

掺杂 (N+)

4"

20

<10/cm2

10 -3 -10 -2

1.00

GT.020.02.SEMI.B.2

氮化镓模板

半绝缘

2"

20

<10/cm2

10 9 -10 12

1.00

GT.020.02.SEMI.B.3

氮化镓模板

半绝缘

3"

20

<10/cm2

10 9 -10 12

1.00

GT.020.02.SEMI.B.4

氮化镓模板

半绝缘

4"

20

<10/cm2

10 9 -10 12

1.00

GT.020.02.UD.B.2

氮化镓模板

未掺杂 (N-)

2"

20

<10/cm2

0.5

1.00

GT.020.02.UD.B.3

氮化镓模板

未掺杂 (N-)

3"

20

<10/cm2

0.5

1.00

GT.020.02.UD.B.4

氮化镓模板

未掺杂 (N-)

4"

20

<10/cm2

0.5

1.00

GT.020.10.NB2

氮化镓模板

掺杂 (N+)

2"

20

<10/cm2

10 -3 -10 -2

1.00

GT.020.10.NB3

氮化镓模板

掺杂 (N+)

3"

20

<10/cm2

10 -3 -10 -2

1.00

GT.020.10.NB4

氮化镓模板

掺杂 (N+)

4"

20

<10/cm2

10 -3 -10 -2

1.00

GT.020.10.SEMI.B.2

氮化镓模板

半绝缘

2"

20

<10/cm2

10 9 -10 12

1.00

GT.020.10.SEMI.B.3

氮化镓模板

半绝缘

3"

20

<10/cm2

10 9 -10 12

1.00

GT.020.10.SEMI.B.4

氮化镓模板

半绝缘

4"

20

<10/cm2

10 9 -10 12

1.00

GT.020.10.UD.B.2

氮化镓模板

未掺杂 (N-)

2"

20

<10/cm2

0.5

1.00

GT.020.10.UD.B.3

氮化镓模板

未掺杂 (N-)

3"

20

<10/cm2

0.5

1.00

GT.020.10.UD.B.4

氮化镓模板

未掺杂 (N-)

4"

20

<10/cm2

0.5

1.00

GT.050.02.NB2

氮化镓模板

掺杂 (N+)

2"

50

<10/cm2

10 -3 -10 -2

2.50

GT.050.02.NB3

氮化镓模板

掺杂 (N+)

3"

50

<10/cm2

10 -3 -10 -2

2.50

GT.050.02.NB4

氮化镓模板

掺杂 (N+)

4"

50

<10/cm2

10 -3 -10 -2

2.50

GT.050.02.SEMI.B.2

氮化镓模板

半绝缘

2"

50

<10/cm2

10 9 -10 12

2.50

GT.050.02.SEMI.B.3

氮化镓模板

半绝缘

3"

50

<10/cm2

10 9 -10 12

2.50

GT.050.02.SEMI.B.4

氮化镓模板

半绝缘

4"

50

<10/cm2

10 9 -10 12

2.50

GT.050.02.UD.B.2

氮化镓模板

未掺杂 (N-)

2"

50

<10/cm2

0.5

2.50

GT.050.02.UD.B.3

氮化镓模板

未掺杂 (N-)

3"

50

<10/cm2

0.5

2.50

GT.050.02.UD.B.4

氮化镓模板

未掺杂 (N-)

4"

50

<10/cm2

0.5

2.50

GT.050.10.NB2

氮化镓模板

掺杂 (N+)

2"

50

<10/cm2

10 -3 -10 -2

2.50

GT.050.10.NB3

氮化镓模板

掺杂 (N+)

3"

50

<10/cm2

10 -3 -10 -2

2.50

GT.050.10.NB4

氮化镓模板

掺杂 (N+)

4"

50

<10/cm2

10 -3 -10 -2

2.50

GT.050.10.SEMI.B.2

氮化镓模板

半绝缘

2"

50

<10/cm2

10 9 -10 12

2.50

GT.050.10.SEMI.B.3

氮化镓模板

半绝缘

3"

50

<10/cm2

10 9 -10 12

2.50

GT.050.10.SEMI.B.4

氮化镓模板

半绝缘

4"

50

<10/cm2

10 9 -10 12

2.50

GT.050.10.UD.B.2

氮化镓模板

未掺杂 (N-)

2"

50

<10/cm2

0.5

2.50

GT.050.10.UD.B.3

氮化镓模板

未掺杂 (N-)

3"

50

<10/cm2

0.5

2.50

GT.050.10.UD.B.4

氮化镓模板

未掺杂 (N-)

4"

50

<10/cm2

0.5

2.50

GT.100.02.NB2

氮化镓模板

掺杂 (N+)

2"

100

<10/cm2

10 -3 -10 -2

2.50

GT.100.02.NB3

氮化镓模板

掺杂 (N+)

3"

100

<10/cm2

10 -3 -10 -2

2.50

GT.100.02.NB4

氮化镓模板

掺杂 (N+)

4"

100

<10/cm2

10 -3 -10 -2

2.50

GT.100.02.SEMI.B.2

氮化镓模板

半绝缘

2"

100

<10/cm2

10 9 -10 12

2.50

GT.100.02.SEMI.B.3

氮化镓模板

半绝缘

3"

100

<10/cm2

10 9 -10 12

2.50

GT.100.02.SEMI.B.4

氮化镓模板

半绝缘

4"

100

<10/cm2

10 9 -10 12

2.50

GT.100.02.UD.B.2

氮化镓模板

未掺杂 (N-)

2"

100

<10/cm2

0.5

2.50

GT.100.02.UD.B.3

氮化镓模板

未掺杂 (N-)

3"

100

<10/cm2

0.5

2.50

GT.100.02.UD.B.4

氮化镓模板

未掺杂 (N-)

4"

100

<10/cm2

0.5

2.50

GT.100.10.NB2

氮化镓模板

掺杂 (N+)

2"

100

<10/cm2

10 -3 -10 -2

2.50

GT.100.10.NB3

氮化镓模板

掺杂 (N+)

3"

100

<10/cm2

10 -3 -10 -2

2.50

GT.100.10.NB4

氮化镓模板

掺杂 (N+)

4"

100

<10/cm2

10 -3 -10 -2

2.50

GT.100.10.SEMI.B.2

氮化镓模板

半绝缘

2"

100

<10/cm2

10 9 -10 12

2.50

GT.100.10.SEMI.B.3

氮化镓模板

半绝缘

3"

100

<10/cm2

10 9 -10 12

2.50

GT.100.10.SEMI.B.4

氮化镓模板

半绝缘

4"

100

<10/cm2

10 9 -10 12

2.50

GT.100.10.UD.B.2

氮化镓模板

未掺杂 (N-)

2"

100

<10/cm2

0.5

2.50

GT.100.10.UD.B.3

氮化镓模板

未掺杂 (N-)

3"

100

<10/cm2

0.5

2.50

GT.100.10.UD.B.4

氮化镓模板

未掺杂 (N-)

4"

100

<10/cm2

0.5

2.50

RFGB.CP.NB10

块状氮化镓

掺杂 (N+)

不适用

430

<10/cm2

10 -3 -10 -2

5.00

RFGB.CP.NB18

块状氮化镓

掺杂 (N+)

不适用

430

<10/cm2

10 -3 -10 -2

10.00

RFGB.CP.NB30

块状氮化镓

掺杂 (N+)

不适用

430

<10/cm2

10 -3 -10 -2

25.00

RFGB.CP.SEMI.B.10

块状氮化镓

半绝缘

不适用

430

<10/cm2

109-1012

5.00

RFGB.CP.SEMI.B.18

块状氮化镓

半绝缘

不适用

430

<10/cm2

109-1012

10.00

RFGB.CP.SEMI.B.30

块状氮化镓

半绝缘

不适用

430

<10/cm2

109-1012

25.00

RFGB.CP.UD.B.10

块状氮化镓

未掺杂 (N-)

不适用

430

<10/cm2

0.5

5.00

RFGB.CP.UD.B.18

块状氮化镓

未掺杂 (N-)

不适用

430

<10/cm2

0.5

10.00

RFGB.CP.UD.B.30

块状氮化镓

未掺杂 (N-)

不适用

430

<10/cm2

0.5

25.00


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